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齒輪測量技術 1)、齒輪單項幾何形狀誤差測量技術 它采用(yong)坐(zuo)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)式幾(ji)何(he)(he)解(jie)析(xi)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)法，將齒(chi)(chi)輪(lun)(lun)作為一個具有復雜形狀的(de)(de)(de)幾(ji)何(he)(he)實體，在所(suo)建立(li)的(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)坐(zuo)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)系(直角坐(zuo)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)系、極坐(zuo)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)系或圓柱坐(zuo)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)系)上(shang)，按照設(she)計幾(ji)何(he)(he)參數(shu)對齒(chi)(chi)輪(lun)(lun)齒(chi)(chi)面的(de)(de)(de)幾(ji)何(he)(he)形狀偏差(cha)(cha)(cha)進(jin)行(xing)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)。測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方(fang)式主要有兩種：離散坐(zuo)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)點測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方(fang)式和(he)(he)連(lian)續幾(ji)何(he)(he)軌跡(ji)點掃(sao)描(如展(zhan)成(cheng))測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方(fang)式。所(suo)測(ce)(ce)(ce)得的(de)(de)(de)齒(chi)(chi)輪(lun)(lun)誤差(cha)(cha)(cha)是被測(ce)(ce)(ce)齒(chi)(chi)輪(lun)(lun)齒(chi)(chi)面上(shang)被測(ce)(ce)(ce)點的(de)(de)(de)實際位置(zhi)坐(zuo)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(實際軌跡(ji)或形狀)和(he)(he)按設(she)計參數(shu)所(suo)建立(li)的(de)(de)(de)理想齒(chi)(chi)輪(lun)(lun)齒(chi)(chi)面上(shang)相(xiang)應點的(de)(de)(de)理論位置(zhi)坐(zuo)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)(理論軌跡(ji)或形狀)之(zhi)間的(de)(de)(de)差(cha)(cha)(cha)異，通(tong)常也就是和(he)(he)幾(ji)何(he)(he)坐(zuo)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)式齒(chi)(chi)輪(lun)(lun)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)儀器(qi)對應測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)運(yun)動所(suo)形成(cheng)的(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)軌跡(ji)之(zhi)間的(de)(de)(de)差(cha)(cha)(cha)異。測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)誤差(cha)(cha)(cha)項(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)目是齒(chi)(chi)輪(lun)(lun)的(de)(de)(de)單(dan)(dan)項(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)幾(ji)何(he)(he)偏差(cha)(cha)(cha)，以齒(chi)(chi)廓、齒(chi)(chi)向和(he)(he)齒(chi)(chi)距等三項(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)基(ji)本(ben)偏差(cha)(cha)(cha)為主。由于(yu)坐(zuo)標(biao)(biao)(biao)(biao)(biao)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)技(ji)術、傳(chuan)感(gan)器(qi)技(ji)術、計算(suan)機(ji)(ji)技(ji)術的(de)(de)(de)發(fa)展(zhan)，尤其(qi)是數(shu)據處(chu)理軟(ruan)件(jian)功能的(de)(de)(de)增強，三維齒(chi)(chi)面形貌偏差(cha)(cha)(cha)、分(fen)解(jie)齒(chi)(chi)輪(lun)(lun)單(dan)(dan)項(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)幾(ji)何(he)(he)偏差(cha)(cha)(cha)和(he)(he)頻譜分(fen)析(xi)等誤差(cha)(cha)(cha)項(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)目的(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)得到了推廣(guang)。單(dan)(dan)項(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)幾(ji)何(he)(he)偏差(cha)(cha)(cha)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)優點是便于(yu)對齒(chi)(chi)輪(lun)(lun)(尤其(qi)是首(shou)件(jian))加(jia)工質量(liang)(liang)進(jin)行(xing)分(fen)析(xi)和(he)(he)診斷、對機(ji)(ji)床加(jia)工工藝參數(shu)進(jin)行(xing)再調整；儀器(qi)可借助(zhu)于(yu)樣板(ban)進(jin)行(xing)校正，實現基(ji)準的(de)(de)(de)傳(chuan)遞。 2)、齒輪綜合誤差測(ce)量技術 它(ta)采用嚙合(he)(he)(he)(he)滾動(dong)式綜(zong)(zong)(zong)合(he)(he)(he)(he)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)法，把(ba)齒輪(lun)(lun)(lun)作為一個(ge)回轉運(yun)動(dong)的(de)(de)傳動(dong)元件，在理論(lun)安裝中心距(ju)下(xia)，和(he)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)齒輪(lun)(lun)(lun)嚙合(he)(he)(he)(he)滾動(dong)，測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)其綜(zong)(zong)(zong)合(he)(he)(he)(he)偏(pian)差(cha)(cha)。綜(zong)(zong)(zong)合(he)(he)(he)(he)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)又分(fen)為齒輪(lun)(lun)(lun)單面(mian)(mian)嚙合(he)(he)(he)(he)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)，用以檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)齒輪(lun)(lun)(lun)的(de)(de)切向(xiang)(xiang)(xiang)綜(zong)(zong)(zong)合(he)(he)(he)(he)偏(pian)差(cha)(cha)和(he)單齒切向(xiang)(xiang)(xiang)綜(zong)(zong)(zong)合(he)(he)(he)(he)偏(pian)差(cha)(cha)；以及齒輪(lun)(lun)(lun)雙面(mian)(mian)嚙合(he)(he)(he)(he)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)，用以檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)齒輪(lun)(lun)(lun)的(de)(de)徑(jing)向(xiang)(xiang)(xiang)綜(zong)(zong)(zong)合(he)(he)(he)(he)偏(pian)差(cha)(cha)和(he)單齒徑(jing)向(xiang)(xiang)(xiang)綜(zong)(zong)(zong)合(he)(he)(he)(he)偏(pian)差(cha)(cha)。為了(le)更有效地發揮齒輪(lun)(lun)(lun)雙面(mian)(mian)嚙合(he)(he)(he)(he)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)技術的(de)(de)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)監(jian)控作用，增(zeng)加(jia)了(le)偏(pian)差(cha)(cha)的(de)(de)頻(pin)譜分(fen)析測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)項目;還從徑(jing)向(xiang)(xiang)(xiang)綜(zong)(zong)(zong)合(he)(he)(he)(he)偏(pian)差(cha)(cha)中分(fen)解出徑(jing)向(xiang)(xiang)(xiang)綜(zong)(zong)(zong)合(he)(he)(he)(he)螺旋角偏(pian)差(cha)(cha)和(he)徑(jing)向(xiang)(xiang)(xiang)綜(zong)(zong)(zong)合(he)(he)(he)(he)齒向(xiang)(xiang)(xiang)錐度偏(pian)差(cha)(cha)。這是(shi)齒輪(lun)(lun)(lun)徑(jing)向(xiang)(xiang)(xiang)綜(zong)(zong)(zong)合(he)(he)(he)(he)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)技術中的(de)(de)一個(ge)新發展(zhan)。綜(zong)(zong)(zong)合(he)(he)(he)(he)運(yun)動(dong)偏(pian)差(cha)(cha)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)優點是(shi)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)速度快，適合(he)(he)(he)(he)批量(liang)(liang)(liang)(liang)產品的(de)(de)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)終(zhong)檢(jian)，便于對(dui)齒輪(lun)(lun)(lun)加(jia)工(gong)工(gong)藝過程(cheng)進(jin)(jin)行及時監(jian)控。儀(yi)器可借助于標準元件(如標準齒輪(lun)(lun)(lun))進(jin)(jin)行校驗，實現基(ji)準的(de)(de)傳遞。上述兩項測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)技術基(ji)于傳統的(de)(de)齒輪(lun)(lun)(lun)精度理論(lun)，然而隨著(zhu)對(dui)齒輪(lun)(lun)(lun)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)要求的(de)(de)不斷增(zeng)加(jia)和(he)提高(gao)，這些傳統的(de)(de)齒輪(lun)(lun)(lun)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)技術也在不斷細(xi)化、豐富、更新、提高(gao)。 3)、齒(chi)輪(lun)整(zheng)體誤差(cha)測量(liang)技術 它(ta)所基于(yu)的(de)(de)(de)(de)(de)齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)整(zheng)(zheng)(zheng)體誤(wu)(wu)差(cha)(cha)理(li)論，是(shi)(shi)由(you)(you)我國(guo)機床(chuang)工具行業(ye)、尤其(qi)是(shi)(shi)成(cheng)(cheng)都(dou)(dou)工具研究所的(de)(de)(de)(de)(de)科研技(ji)術(shu)人員共(gong)同努(nu)力創建和(he)不斷(duan)完善的(de)(de)(de)(de)(de)一種新型(xing)齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量理(li)論。把齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)作為(wei)一個用(yong)于(yu)實現傳(chuan)動(dong)功(gong)能的(de)(de)(de)(de)(de)幾(ji)(ji)何實體,或采用(yong)坐標式(shi)幾(ji)(ji)何解析法對其(qi)單(dan)項幾(ji)(ji)何精(jing)度進行測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量,并按齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)嚙(nie)合(he)(he)傳(chuan)動(dong)順序和(he)位置,集成(cheng)(cheng)為(wei)一條“靜(jing)態(tai)”齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)整(zheng)(zheng)(zheng)體誤(wu)(wu)差(cha)(cha)曲(qu)線(xian)；或按單(dan)面(mian)嚙(nie)合(he)(he)綜合(he)(he)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量方式(shi)，使(shi)用(yong)特殊測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)，采用(yong)滾(gun)(gun)動(dong)點(dian)掃(sao)描測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量法對其(qi)進行測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量，得到(dao)齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)“運動(dong)”整(zheng)(zheng)(zheng)體誤(wu)(wu)差(cha)(cha)曲(qu)線(xian)。上述兩種齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)整(zheng)(zheng)(zheng)體誤(wu)(wu)差(cha)(cha)曲(qu)線(xian)，經過運算(suan)和(he)數據(ju)處理(li)，都(dou)(dou)可以得到(dao)齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)綜合(he)(he)運動(dong)偏差(cha)(cha)、各單(dan)項幾(ji)(ji)何偏差(cha)(cha)、三(san)維(wei)齒(chi)(chi)(chi)(chi)面(mian)形貌偏差(cha)(cha)，以及接(jie)觸區狀態(tai)，從而能更全面(mian)、準確的(de)(de)(de)(de)(de)評定齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)質(zhi)量和(he)齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)加工工藝的(de)(de)(de)(de)(de)分析和(he)診斷(duan)。齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)整(zheng)(zheng)(zheng)體誤(wu)(wu)差(cha)(cha)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量技(ji)術(shu)是(shi)(shi)對傳(chuan)統(tong)齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量技(ji)術(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)繼(ji)承和(he)發展。尤其(qi)是(shi)(shi)采用(yong)單(dan)面(mian)嚙(nie)合(he)(he)、滾(gun)(gun)動(dong)點(dian)掃(sao)描測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量的(de)(de)(de)(de)(de)齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)整(zheng)(zheng)(zheng)體誤(wu)(wu)差(cha)(cha)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量技(ji)術(shu)更具有測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量信(xin)息(xi)豐富、測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量速度快、測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量精(jing)度更接(jie)近(jin)使(shi)用(yong)狀態(tai)的(de)(de)(de)(de)(de)特點(dian)，特別適合(he)(he)批量產(chan)品齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)精(jing)度的(de)(de)(de)(de)(de)檢測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)與質(zhi)量的(de)(de)(de)(de)(de)控制(zhi)。在汽車齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)要求100%全部檢測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)的(de)(de)(de)(de)(de)態(tai)勢下(xia)，這種由(you)(you)我國(guo)首(shou)先開發出來的(de)(de)(de)(de)(de)齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)整(zheng)(zheng)(zheng)體誤(wu)(wu)差(cha)(cha)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量技(ji)術(shu)得到(dao)了重視和(he)推廣，其(qi)中，成(cheng)(cheng)都(dou)(dou)工具研究所開發的(de)(de)(de)(de)(de)錐齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)整(zheng)(zheng)(zheng)體誤(wu)(wu)差(cha)(cha)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量技(ji)術(shu)曾于(yu)90年代轉讓給德國(guo)KLINGELNBERG公(gong)司(si)。德國(guo)FRENCO公(gong)司(si)推向市場的(de)(de)(de)(de)(de)齒(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)(lun)(lun)單(dan)面(mian)嚙(nie)合(he)(he)滾(gun)(gun)動(dong)點(dian)掃(sao)描測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量儀器，采用(yong)了完全類(lei)同的(de)(de)(de)(de)(de)技(ji)術(shu)。 當前齒輪(lun)制(zhi)(zhi)造業的(de)(de)一(yi)(yi)個發展趨勢，是(shi)將齒輪(lun)測量技(ji)術(shu)(shu)和(he)齒輪(lun)設計、加工制(zhi)(zhi)造進(jin)行集(ji)成，實現(xian)齒輪(lun)制(zhi)(zhi)造信(xin)息的(de)(de)融合及CAD/CAM/CAT的(de)(de)集(ji)成，從而構建一(yi)(yi)個先進(jin)的(de)(de)齒輪(lun)閉(bi)環(huan)制(zhi)(zhi)造系統(tong)(由于通常由數(shu)字化(hua)(hua)信(xin)息來實現(xian)，可稱為(wei)數(shu)字化(hua)(hua)閉(bi)環(huan)制(zhi)(zhi)造系統(tong))。美國GLEASON和(he)德(de)國KLINGELNBERG開(kai)發的(de)(de)錐齒輪(lun)閉(bi)環(huan)制(zhi)(zhi)造技(ji)術(shu)(shu)和(he)系統(tong)是(shi)個典型(xing)實例。 此外(wai)，在儀器測量形態和檢測系(xi)統(tong)方面(mian)，現代齒輪測量技(ji)術還有如下(xia)的進展。 4)、齒輪在(zai)機測量(liang)技(ji)術 該技術(shu)有了(le)較快(kuai)的發(fa)展(zhan)(zhan)，是(shi)一個(ge)重(zhong)要發(fa)展(zhan)(zhan)趨勢。直接將齒(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)測(ce)量(liang)(liang)裝置集(ji)成于(yu)齒(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)加(jia)工(gong)(gong)(gong)機床(chuang)(chuang)，齒(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)試切或加(jia)工(gong)(gong)(gong)后不(bu)用拆卸，立(li)即在(zai)機床(chuang)(chuang)上進行在(zai)機測(ce)量(liang)(liang)，根據測(ce)量(liang)(liang)結果(guo)對機床(chuang)(chuang)(或滾(gun)輪(lun)(lun)(lun))參數及時調整(zheng)修正(主要針對磨齒(chi)(chi))。這對于(yu)成形(xing)磨齒(chi)(chi)加(jia)工(gong)(gong)(gong)和(he)大齒(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)磨齒(chi)(chi)加(jia)工(gong)(gong)(gong)而(er)言，在(zai)提(ti)高生(sheng)產效率、降低成本(ben)方面，尤(you)其具有重(zhong)要意義。德國KAPP廠(chang)的數控磨齒(chi)(chi)機就(jiu)是(shi)一個(ge)典型(xing)代表。CNC齒(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)加(jia)工(gong)(gong)(gong)機床(chuang)(chuang)的迅速發(fa)展(zhan)(zhan)，為推動齒(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)在(zai)機測(ce)量(liang)(liang)技術(shu)的應用和(he)發(fa)展(zhan)(zhan)提(ti)供了(le)可靠的工(gong)(gong)(gong)作平臺(tai)。 由(you)于對(dui)大批量生(sheng)產(chan)的(de)汽車(che)(che)轎車(che)(che)齒輪(lun)質量要求(qiu)的(de)提高，齒輪(lun)在(zai)線測量分選技術的(de)應(ying)用(yong)已是必不可少。上海汽車(che)(che)齒輪(lun)廠首次(ci)從(cong)美國ITW公司引進了(le)該(gai)項技術和相應(ying)儀(yi)器裝備，取得了(le)預期效果，據稱還將陸續購進該(gai)類檢測儀(yi)器。 5)、齒輪激光測量技(ji)術(shu) 通常是指在(zai)齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)的(de)(de)(de)(de)幾何尺寸和形狀(zhuang)位(wei)置精(jing)度(du)的(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)中(zhong)，采(cai)用(yong)(yong)了激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)技(ji)術(shu)(shu)，包括采(cai)用(yong)(yong)激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)長系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)(如采(cai)用(yong)(yong)雙頻激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)干涉儀(yi)作(zuo)為(wei)齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)儀(yi)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)長度(du)基(ji)準或傳(chuan)感器(qi)(qi))、激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)頭(tou)(tou)系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)(如采(cai)用(yong)(yong)非接(jie)觸點(dian)反射式激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)頭(tou)(tou)作(zuo)為(wei)齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)誤差的(de)(de)(de)(de)檢測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)傳(chuan)感器(qi)(qi))、以及激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)全息(xi)式齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)(如采(cai)用(yong)(yong)激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)全息(xi)技(ji)術(shu)(shu)對齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)的(de)(de)(de)(de)齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)面(mian)幾何形狀(zhuang)誤差進(jin)行測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong))等。由于激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)是長度(du)溯源基(ji)準，不少高(gao)精(jing)度(du)齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)計量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)或齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)基(ji)準儀(yi)器(qi)(qi)，采(cai)用(yong)(yong)激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)作(zuo)為(wei)其長度(du)坐標測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)。美國FELLOWS廠70年(nian)代(dai)開發的(de)(de)(de)(de)MICROLOG60就是一個實例。加拿大溫莎精(jing)密(mi)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)儀(yi)器(qi)(qi)廠在(zai)80年(nian)代(dai)初生(sheng)產(chan)的(de)(de)(de)(de)齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)儀(yi)器(qi)(qi)就采(cai)用(yong)(yong)了非接(jie)觸點(dian)反射式激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)頭(tou)(tou)，可用(yong)(yong)于測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)塑料制成(cheng)的(de)(de)(de)(de)軟齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)面(mian)齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)。齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)技(ji)術(shu)(shu)在(zai)日(ri)本倍受重視，并逐步完善(shan)成(cheng)為(wei)產(chan)品推向市(shi)場。日(ri)本AMTEC公司的(de)(de)(de)(de)G3齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)系(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)，采(cai)用(yong)(yong)的(de)(de)(de)(de)是CONO激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)頭(tou)(tou)，齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)回轉，測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)頭(tou)(tou)位(wei)置相應變化，測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)出齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)的(de)(de)(de)(de)截面(mian)形狀(zhuang)。大阪精(jing)機開發的(de)(de)(de)(de)激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)儀(yi)，采(cai)用(yong)(yong)激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)全息(xi)技(ji)術(shu)(shu)，用(yong)(yong)光(guang)(guang)(guang)(guang)干涉法對被測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)輪(lun)(lun)(lun)的(de)(de)(de)(de)全齒(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)(chi)面(mian)形狀(zhuang)進(jin)行精(jing)度(du)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)。 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